Vacuum wands for semiconductor wafer handling

Diese Greifgeräte sind die sicherste Methode zur Wafer-Handhabung und werden mit ESD geschützten Materialien, u.a. PEEK Spitzen hergestellt. Die Grössen sind optimal für jeden Wafer-Durchmesser. Die Spitzenkonzeption gewährleistet, dass der Kontakt sowohl minimal als auch sicher ist. Die Kontaktoberfläche selbst is optisch poliert und bietet eine ausgezeichnete Haftung an einem Wafer. Zwei Greifgehäuse sind möglich: fixierte Spitze und drehbares Gelenk. Beide bieten eine Vielfalt an Handhabungstechniken. Unser einzigartiges Greifgerät Kontrollventil gewährleistet ein zuverlässiges Ansaugen und sofortige Freigabe ohne die Erzeugung von Partikeln.


Part number Beschreibung
Komplette Greifgeräte
C002-X-96-CPESD safe vacuum wand for up to 6 inch (150 mm) wafers, normally open, swivel
C002-Y-91-CPESD safe vacuum wand for up to 6 inch (150 mm) wafers, normally open
C002-X-97-CPESD safe vacuum wand for up to 8 inch (200 mm) wafers, normally open, swivel
C002-Y-92-CPESD safe vacuum wand for up to 8 inch (200 mm) wafers, normally open
C002-Y-98-CPESD safe vacuum wand for up to 8 inch (200 mm) wafers, normally open, extended
Greifgerätgehäuse
C002-XC002-X wafer handling wand body without tip, normally open
C002-YC002-Y wafer handling wand body without tip, normally open
Tips
91-CPESD safe conductive PEEK tip for up to 6 inch (150 mm) wafers, Y type fixed joint
96-CPESD safe conductive PEEK tip for up to 6 inch (150 mm) wafers, for swivel joint, X or Z connection
92-CPESD safe conductive PEEK tip for up to 8 inch (200 mm) wafers, Y type fixed joint
97-CPESD safe conductive PEEK tip for up to 8 inch (200 mm) wafers, for swivel joint, X or Z connection
98-CPESD safe conductive PEEK tip for up to 8 inch (200 mm) wafers, fixed joint Y, extended
Zubehör
658Vertical wall mount stand for normally open wand, with vacuum shut-off
659Horizontal desktop stand for normally open wand, with vacuum shut-off
851-MCoiled ESD safe tubing, 3 mm ID, 5 mm OD, 2 m, relaxed
851-LCoiled ESD safe tubing, 4 mm ID, 6 mm OD, 2 m, relaxed
FV-30-240Clean room vacuum pump, 300 mmHg, 2.5 l/min, 240 V, HEPA
FV-60-240Clean room vacuum pump, 600 mmHg, 2.5 l/min, 240 V, HEPA
858Static dissipative grounding kit for FV-10/30/60 pumps
901Vacuum leak detector and wafer wand tip condition tester